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Ascent AMS Series


Ascent AMS Series

在極端電弧條件下和高重複性薄膜條件下穩定的電力輸送


Advanced Energy的一線直流發電機提供雙磁控濺射應用所需的性能和可靠性

  • 主動管理電弧,而不是通用的預設電弧響應
    • 每1 kW輸出能量小於0.4 mJ
    • 在起弧條件下穩定,可重複的過程
  • 大功率應用的主/輔
  • 更高的功率水平,減少了電弧損壞

規格:

輸入電壓 :
400, 440, and 480 VAC

輸出功率 :
30, 40, and 60 kW

輸出電壓 :

30 kW                           300 to 1000 VDC 

40 kW                           333 to 1000 VDC 

60 kW (120A)               500 to 1000 VDC 

60 kW (150A)               400 to 800 VDC