商品分类

Ascent AMS Series


Ascent AMS Series

在极端电弧条件下和高重复性薄膜条件下稳定的电力输


Advanced Energy的一线直流发电机提供双磁控溅射应用所需的性能和可靠性

  • 主动管理电弧,而不是通用的预设电弧响应
    • 每1 kW输出能量小于0.4 mJ
    • 在起弧条件下稳定,可重复的过程
  • 大功率应用的主/辅
  • 更高的功率水平,减少了电弧损坏

规格

输入电压 :
400, 440, and 480 VAC

输出功率 :
30, 40, and 60 kW

输出电压 :

30 kW                           300 to 1000 VDC 

40 kW                           333 to 1000 VDC 

60 kW (120A)               500 to 1000 VDC 

60 kW (150A)               400 to 800 VDC