產品分類

Ascent DMS Series


Ascent DMS Series

先進的雙磁控濺射配件


經過現場驗證的解決方案，適用於任何雙磁控濺射應用，並具有促進先進工藝創新的附加功能。

  • 通過先進的ARC管理，通過更穩定的過程獲得更高的沉積速率
  • 以可變的頻率和占空比調整過程
  • 根據您的系統要求量身定制：30、40和60 kW單位，最高可配置180 kW

規格：

輸入電壓 :

ASCENT DMS 40, 60 KW                          85 to 264 VAC 

ASCENT DMS 120 KW                              85 to 264 VAC

輸出電流 :

ASCENT DMS 40, 60 KW                           Up to 150 A 

ASCENT DMS 120 KW                               Up to 400 A

輸出電壓 :

ASCENT DMS 40, 60 KW                           Up to 1000 V 

ASCENT DMS 120 KW                               Up to 1000 V