商品分类

Ascent DMS Series


Ascent DMS Series

先进的双磁控溅射配件


经过现场验证的解决方案，适用于任何双磁控溅射应用，并具有促进先进工艺创新的附加功能。

  • 通过先进的ARC管理，通过更稳定的过程获得更高的沉积速率
  • 以可变的频率和占空比调整过程
  • 根据您的系统要求量身定制：30、40和60 kW单位，最高可配置180 kW

规格：

输入电压 :

ASCENT DMS 40, 60 KW                          85 to 264 VAC 

ASCENT DMS 120 KW                              85 to 264 VAC

输出电流 :

ASCENT DMS 40, 60 KW                           Up to 150 A 

ASCENT DMS 120 KW                               Up to 400 A

输出电压 :

ASCENT DMS 40, 60 KW                           Up to 1000 V 

ASCENT DMS 120 KW                               Up to 1000 V