產品分類

PEII Series


PEII Series

低頻系列，具有增強的電弧控制和內部負載匹配功能，適用於40 kHz反應濺射應用


PEII系列電源是雙磁控濺射的可靠標準，是一種有效的真空清潔工具，可用於多種PECVD應用。
  • 可靠的水冷設計
  • 提供嚴格的功率，電壓或電流輸出調節，測量精度為1％
  • 與可編程邏輯控制器（PLC）兼容

規格：

輸入電壓 :
180 to 230 VAC

輸出功率 :
5 and 10 kW

輸出電壓 :
300 to 950 V

工作溫度 :
0 to 40⁰C