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PEII Series


PEII Series

低频系列，具有增强的电弧控制和内部负载匹配功能，适用于40 kHz反应溅射应用


PEII系列电源是双磁控溅射的可靠标准，是一种有效的真空清洁工具，可用于多种PECVD应用。
  • 可靠的水冷设计
  • 提供严格的功率，电压或电流输出调节，测量精度为1％
  • 与可编程逻辑控制器（PLC）兼容

规格：

输入电压 :
180 to 230 VAC

输出功率 :
5 and 10 kW

输出电压 :
300 to 950 V

工作温度 :
0 to 40⁰C