商品分类

Ascent AP Series


Ascent AP Series

单磁控和双磁控溅射的空前功率控制


使用经过现场验证的双极性直流脉冲技术，将处理性能提高到新水平。

  • 先进的波形控制可进行过程微调
  • 可用于双脉冲和单脉冲磁控溅射应用
  • 紧凑的设计融合了直流和脉冲

规格：

输出功率 :

Ascent SMS                   30 kW (15 kW)

Ascent DMS                   30 kW (15 kW)

输出电压 :

Ascent SMS                   1000 VDC

Ascent DMS                   1000 VDC