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Pinnacle Plus+ Series


Pinnacle Plus+ Series

經過過程驗證的脈衝直流電，用於單磁控反應濺射薄膜


Pinnacle Plus +發生器以脈衝配置提供直流電，從而能夠對非常均勻的高質量介電膜進行反應性濺射。

  • 在反向脈衝期間清除電荷可防止產生電弧
  • 通過頻率和占空比控制可調節過程
  • 緊湊的風冷設計，可擴展至主要/次要配置

規格：

輸入電壓 :
208, 400, and 480 VAC

輸出功率 :

Single Output                      1.5 kW, 5 kW, 10 kW 

Dual Output                         5/5 kW

輸出電壓 :
Up to 800 VDC