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Pinnacle Plus+ Series


Pinnacle Plus+ Series

经过过程验证的脉冲直流电，用于单磁控反应溅射薄膜

Pinnacle Plus +发生器以脉冲配置提供直流电，从而能够对非常均匀的高质量介电膜进行反应性溅射。
  • 在反向脉冲期间清除电荷可防止产生电弧
  • 通过频率和占空比控制可调节过程
  • 紧凑的风冷设计，可扩展至主要/次要配置

规格：

输入电压 :
208, 400, and 480 VAC

输出功率 :

Single Output                      1.5 kW, 5 kW, 10 kW 

Dual Output                         5/5 kW

输出电压 :
Up to 800 VDC