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Navigator II FCi Series


Navigator II FCi Series

敏捷,精確的功率傳輸,可滿足要求苛刻的高速匹配應用


Advanced Energy的Navigator II FCi可以通過精確的功率傳輸和調整來改善過程控制。 高速匹配網絡針對關鍵,功率敏感,持續時間短的等離子工藝步驟進行了優化。 還支持傳統上較長的步長和較寬的調整範圍,而這些步驟通常由基於真空電容器的匹配網絡來處理。 通過高速調整,Navigator II FCi提供了許多過程控制增強功能
  • 減少等離子體穩定時間
  • 在工藝配方過渡之間沒有等離子體脫落

規格:

線路電壓 :
24 ±10% VDC

輸出電壓 :
1000 VDC

工作溫度 :
+5 to +40°C