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Navigator II FCi Series
敏捷，精确的功率传输，可满足要求苛刻的高速匹配应用
Advanced Energy的Navigator II FCi可以通过精确的功率传输和调整来改善过程控制。高速匹配网络针对关键，功率敏感，持续时间短的等离子工艺步骤进行了优化。还支持传统上较长的步长和较宽的调整范围，而这些步骤通常由基于真空电容器的匹配网络来处理。通过高速调整，Navigator II FCi提供了许多过程控制增强功能。
- 减少等离子体稳定时间
- 在工艺配方过渡之间没有等离子体脱落
规格：
线路电压 :
输出电压 :
1000 VDC
工作温度 :
