Paramount HFi Series
緊湊，經濟高效的集成發電機和固態匹配射頻功率傳輸系統
Advanced Energy的派拉蒙HFi是一種13.56 MHz射頻功率傳輸系統，具有集成的固態匹配網絡，能夠在各種阻抗區域中運行。 該解決方案提供一致的功率輸出，高功率密度和出色的可靠性。
- 通過將集成系統直接安裝到腔室上來最小化佔地面積
- 通過32個音調範圍的位置在寬阻抗區域實現可重複的功率傳輸
- 由於沒有活動部件，因此具有很高的可靠性和可重複性
規格：
輸入電壓 :
208 V nominal; 187 to 229 VAC
輸出功率 :
3 kW
工作溫度 :
