Paramount HFi Series
紧凑，经济高效的集成发电机和固态匹配射频功率传输系統
Advanced Energy的派拉蒙HFi是一种13.56 MHz射频功率传输系统，具有集成的固态匹配网络，能够在各种阻抗区域中运行。该解决方案提供一致的功率输出，高功率密度和出色的可靠性。
- 通过将集成系统直接安装到腔室上来最小化占地面积
- 通过32个音调范围的位置在宽阻抗区域实现可重复的功率传输
- 由于没有活动部件，因此具有很高的可靠性和可重复性
规格：
输入电压 :
208 V nominal; 187 to 229 VAC
输出功率 :
3 kW
工作温度 :
