Paramount Plus Series
新兴等离子体应用的多级脉冲和脉冲波形控制
Paramount Plus提供先进的技术和可定制的功能，其中包括一流的脉冲控制。
- 精确的射频和脉冲控制
- 快速响应等离子体变化
- 内置诊断工具
规格：
输入电压 :
Paramount Plus MF 200/240 VAC, 400/480 VAC
Paramount Plus VHF 200/240 VAC, 400/480 VAC
输出功率 :
Paramount Plus MF 5 and 15 kW
Paramount Plus VHF 3 and 6 kW
工作温度 :
