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Litmas RPS Series


Litmas RPS Series

远程等离子源和电力输送系统,可减少废气排


Litmas是一款多合一的远程等离子体源,它将电源,LitmasMatch™匹配网络和等离子体室组合到一个紧凑的机箱中
  • 小尺寸的使用点减少解决方案
  • 高度可靠,有效的减排,减少了公用事业的使用
  • 拥有成本低于竞争解决方案

规格

输入电压 :
208 VAC

輸出功率 :
100 to 4000 W

工作温度 :
5 to 40⁰C