Rapid OX Series
基於氧氣的工藝的理想遠程等離子源
憑藉獨特的用戶可插入和可拆卸的石英腔室襯裡，Advanced Energy的Rapid OX非常適合基於氧氣的工藝。
- 光致抗蝕劑灰化/碳室清洗的理想選擇：石英襯裡減少了氧氣的重組，並確保將反應性物質有效地輸送到處理室
- 完美的性能：6 kW的功率可通過可變頻率和功率控制來解離氧氣
- 可靠的設計：腔室和可移動插件設計提供了比完整石英腔室更高的可靠性
規格：
輸出功率 :
500 to 6000 W
重量 :
37.6 kg (83 lbs)
尺寸 :
H x W x D: 14" x 16.5" x 15.5"
