Rapid OX Series
基于氧气的工艺的理想远程等离子源
凭借独特的用户可插入和可拆卸的石英腔室衬里，Advanced Energy的Rapid OX非常适合基于氧气的工艺。
- 光致抗蚀剂灰化/碳室清洗的理想选择：石英衬里减少了氧气的重组，并确保将反应性物质有效地输送到处理室
- 完美的性能：6 kW的功率可通过可变频率和功率控制来解离氧气
- 可靠的设计：腔室和可移动插件设计提供了比完整石英腔室更高的可靠性
规格：
输出功率 :
500 to 6000 W
重量 :
37.6 kg (83 lbs)
尺寸 :
H x W x D: 14" x 16.5" x 15.5"
