Xstream Series
具有無與倫比性能的高質量，腔室清潔遠程等離子源
Xstream遠程等離子源（RPS）專為在競爭中脫穎而出，因此非常適合清潔腔室。 它具有獲得專利的點火方法和算法以及專有的鋁合金，硬陽極氧化室。
- 可靠的性能：無與倫比的可靠性和可靠的現場性能
- 獨特的點火方法：可靠的等離子點火可減少工具停機時間
- 無需昂貴的塗層：定制合金和先進的陽極氧化技術可確保更長的腔室壽命
- 快速的腔室清潔：高進料氣離解率，可高效運行
規格：
輸入電壓 :
200/208VAC
輸入電流 :
31 Amps nominal/35 Amps maximum per phase for the 10 kW version
28 Amps nominal/31 Amps maximum per phase for the 8 kW version
輸出功率 :
1000 to 10000 W
尺寸 :
H x W x D: 10.5“ x 9.94“ x 18.82“
工作溫度 :
5 to 40°C
