Xstream Series
具有无与伦比性能的高质量，腔室清洁远程等离子源
Xstream远程等离子源（RPS）专为在竞争中脱颖而出，因此非常适合清洁腔室。它具有获得专利的点火方法和算法以及专有的铝合金，硬阳极氧化室。
- 可靠的性能：无与伦比的可靠性和可靠的现场性能
- 独特的点火方法：可靠的等离子点火可减少工具停机时间
- 无需昂贵的涂层：定制合金和先进的阳极氧化技术可确保更长的腔室寿命
- 快速的腔室清洁：高进料气离解率，可高效运行
规格：
输入电压 :
200/208VAC
输入电流 :
31 Amps nominal/35 Amps maximum per phase for the 10 kW version
28 Amps nominal/31 Amps maximum per phase for the 8 kW version
输出功率 :
1000 to 10000 W
尺寸 :
H x W x D: 10.5“ x 9.94“ x 18.82“
工作温度 :
5 to 40°C
