產品分類

UV 400 and UVR 400 Series


UV 400 and UVR 400 Series

650至1300°C的GaN基外延的真實晶圓表面溫度和反射率測量


Advanced Energy的UV 400和UVR 400高溫計直接測量晶圓表面溫度，而不是傳統的基座/腔體溫度。
  • 寬溫度範圍（650至1300°C）可以覆蓋主要緩衝液的增長和MQW的增長
  • 在UVR 400上使用附加反射計在635 nm下測量沉積厚度
  • 發射率，透射率和子範圍可調

規格：

電源供應 :
Max 5 W

溫度範圍 :

UV 400 and UVR 400

650 to 1300°C
工作溫度 :
10 to 38°C