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UV 400 and UVR 400 Series


UV 400 and UVR 400 Series

650至1300°C的GaN基外延的真实晶圆表面温度和反射率测量


Advanced Energy的UV 400和UVR 400高温计直接测量晶圆表面温度，而不是传统的基座/腔体温度。
  • 宽温度范围（650至1300°C）可以覆盖主要缓冲液的增长和MQW的增长
  • 在UVR 400上使用附加反射计在635 nm下测量沉积厚度
  • 发射率，透射率和子范围可调

规格：

电源供应 :
Max 5 W

温度范围 :

UV 400 and UVR 400

650 to 1300°C
工作温度 :
10 to 38°C