Luxtron m920 Series
OEM的光纖溫度感測介於-100至330ºC之間
Advanced Energy的Luxtron四通道m924和兩通道m922半導體模塊專為蝕刻機和晶圓廠設備監控靜電吸盤，腔室和其他設備的溫度而設計。
- 混合搭配成分
- 可與當前的半導體Luxtron品牌的熒光探針和光纖擴展一起使用
- 內置校準表與定制AE探頭匹配，可進行高精度測量
- 精度可達±0.05°C（取決於探頭）
規格：
電源供應 :
+5 to 24 VDC nominal at 100 mA
溫度範圍 :
-100 to 330°C (probe dependent)
工作溫度 :
