Luxtron m920 Series
OEM的光纤温度感测介于-100至330ºC之間
Advanced Energy的Luxtron四通道m924和两通道m922半导体模块专为蚀刻机和晶圆厂设备监控静电吸盘，腔室和其他设备的温度而设计。
- 混合搭配成分
- 可与当前的半导体Luxtron品牌的荧光探针和光纤扩展一起使用
- 内置校准表与定制AE探头匹配，可进行高精度测量
- 精度可达±0.05°C（取决于探头）
规格：
电源供应 :
+5 to 24 VDC nominal at 100 mA
温度范围 :
-100 to 330°C (probe dependent)
工作温度 :
