Ascent DMS SeriesAscent DMS Series先進的雙磁控濺射配件
經過現場驗證的解決方案,適用於任何雙磁控濺射應用,並具有促進先進工藝創新的附加功能。
規格:
輸入電壓 : ASCENT DMS 40, 60 KW 85 to 264 VAC ASCENT DMS 120 KW 85 to 264 VAC 輸出電流 :
ASCENT DMS 40, 60 KW Up to 150 A ASCENT DMS 120 KW Up to 400 A 輸出電壓 :
ASCENT DMS 40, 60 KW Up to 1000 V ASCENT DMS 120 KW Up to 1000 V |