產品分類

Ascent AP Series


Ascent AP Series

單磁控和雙磁控濺射的空前功率控制


使用經過現場驗證的雙極性直流脈衝技術，將處理性能提高到新水平。

  • 先進的波形控制可進行過程微調
  • 可用於雙脈沖和單脈衝磁控濺射應用
  • 緊湊的設計融合了直流和脈衝

規格：

輸出功率 :

Ascent SMS                   30 kW (15 kW)

Ascent DMS                   30 kW (15 kW)

輸出電壓 :

Ascent SMS                   1000 VDC

Ascent DMS                   1000 VDC