Luxtron m920 SeriesLuxtron m920 SeriesOEM的光纖溫度感測介於-100至330ºC之間
Advanced Energy的Luxtron四通道m924和兩通道m922半導體模塊專為蝕刻機和晶圓廠設備監控靜電吸盤,腔室和其他設備的溫度而設計。
規格:
電源供應 : +5 to 24 VDC nominal at 100 mA
溫度範圍 :
-100 to 330°C (probe dependent)
工作溫度 :
0 to 60°C
|